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【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis--Determinationofsurfaceelementalcontaminationonsiliconwafersbytotal-reflectionX-rayfluorescence(TXRF)spectroscopy
【原文标准名称】:表面化学分析.用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面主要污染物
【标准号】:JISK0148-2005
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:2005-03-20
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonBasicEngineering
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:この規格は,シリコン鏡面ウェーハ又はエピタキシャルウェーハの表面原子濃度を,全反射蛍光X線分折法(TXRF)によって定量する方法について規定する。この方法は,次の元素分析に適用する。—原子番号が16(S)から92(U)までの元素—表面原子濃度が1×10atoms/cmから1×10atoms/cmまでの汚染元素—VPD試料前処理法を用いる場合は,表面原子濃度が5×10atoms/cmから5×10atoms/cmまでの汚染元素
【中国标准分类号】:A43
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:24P;A4
【正文语种】:日语


【英文标准名称】:Securities;Internationalsecuritiesidentificationnumberingsystem(ISIN)
【原文标准名称】:证券.国际证券鉴别标志编号系统(ISIN)
【标准号】:ISO6166-1987
【标准状态】:作废
【国别】:国际
【发布日期】:1987-12
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(ISO)
【起草单位】:ISO/TC68
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:银行文件;证券;可转让证券;债倦息票;银行业务活动;指数;银行;银行业务;信息交换;编码;数字的;作标记;国际识别号
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:A11
【国际标准分类号】:0110
【页数】:10P;A4
【正文语种】:英语